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中圖儀器NS系列納米級(jí)高精度臺(tái)階儀用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量，是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量儀器。儀器采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，集成超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

中圖儀器NS系列探針接觸式臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量儀器，單拱龍門式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響，提高了測(cè)量精度。

中圖NS系列國產(chǎn)高精度臺(tái)階儀品牌數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效，能夠廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能光伏、光學(xué)加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對(duì)表面微觀形貌參數(shù)的準(zhǔn)確表征，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義，是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。

NS系列表面輪廓儀系統(tǒng)臺(tái)階儀可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。

中圖儀器NS系列臺(tái)階高度厚度儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量儀器，也是一種常用的膜厚測(cè)量儀器。它利用光學(xué)干涉原理，通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

中圖儀器NS系列薄膜厚度測(cè)量臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量儀器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它是一種常用的膜厚測(cè)量儀器，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測(cè)量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。