自動化生產(chǎn)中的精密幾何量測量:三坐標測量機的應(yīng)用
2024-06-13 工業(yè)4.0背景下,制造業(yè)對高效、精確測量的需求日益增加。特別對于自動化生產(chǎn)線的高效運行,依賴于對產(chǎn)品質(zhì)量的嚴格監(jiān)控。三坐標測量機作為一種關(guān)鍵的精密測量設(shè)備,通過結(jié)合自動化技術(shù)——全自動化三坐標測量站,實現(xiàn)了測量過程的全自動化,節(jié)約了人力成本,大幅提高了測量效率,為現(xiàn)代制造業(yè)的精益生產(chǎn)和質(zhì)量控制提供重要保障。全自動化三坐標測量站通過自動上下料、自動測量、自動分類以及測量統(tǒng)計數(shù)據(jù)可視化,實現(xiàn)了測量過程的全自動化,大幅提高測量效率,并節(jié)約人力成本。三坐標測量機是測量站的核心設(shè)備。它...三坐標測量機的“柔性”特點及其在工業(yè)中的應(yīng)用
2024-06-05 現(xiàn)代制造業(yè)中,三坐標測量機(CMM)在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制和生產(chǎn)過程中發(fā)揮著重要作用。它通過高精度準確測量工件的幾何尺寸和形狀,來保證產(chǎn)品質(zhì)量符合嚴格的技術(shù)規(guī)范。CMM高精度和高效率的特點使其成為自動化生產(chǎn)線和質(zhì)量控制流程中的關(guān)鍵設(shè)備。隨著制造業(yè)對復(fù)雜零件和高精度要求的增加,三坐標測量機“柔性”特點的優(yōu)勢在多種復(fù)雜測量任務(wù)中日益凸顯。柔性特點一:適應(yīng)多樣化測量任務(wù)得益于高精度的探頭系統(tǒng)和測量軟件,三坐標測量機通過探針或傳感器在工件表面進行點對點的測量,然后軟件根據(jù)不同的測量需求...微觀特征輪廓尺寸測量:光學(xué)3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺階儀的應(yīng)用
2024-06-05 隨著科技進步,顯微測量儀器以滿足日益增長的微觀尺寸測量需求而不斷發(fā)展進步。多種高精度測量儀器被用于微觀尺寸的測量,其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)、共聚焦顯微鏡和臺階儀。有效評估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌,從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)化產(chǎn)品性能。光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)光學(xué)3D表面輪廓儀是一種利用白光干涉原理進行非接觸式測量的高精度儀器。它通過分析反射光的干涉模式來重建表面的三維形貌。非接觸無損測量,超高縱向分辨率,測量從光滑到粗糙等各種精細器件表面。測量分析樣品表面形...WD4000系列晶圓幾何量測系統(tǒng):全面支持半導(dǎo)體制造工藝量測,保障晶圓質(zhì)量
2024-06-03 晶圓面型參數(shù)厚度、TTV、BOW、Warp、表面粗糙度、膜厚、等是芯片制造工藝必須考慮的幾何形貌參數(shù)。其中TTV、BOW、Warp三個參數(shù)反映了半導(dǎo)體晶圓的平面度和厚度均勻性,對于芯片制造過程中的多個關(guān)鍵工藝質(zhì)量有直接影響。TTV、BOW、WARP對晶圓制造工藝的影響?對化學(xué)機械拋光工藝的影響:拋光不均勻,可能會導(dǎo)致CMP過程中的不均勻拋光,從而造成表面粗糙和殘留應(yīng)力。?對薄膜沉積工藝的影響:凸凹不平的晶圓在沉積過程中會導(dǎo)致沉積薄膜厚度的不均勻,影響隨后的光刻和蝕刻過程中創(chuàng)建...關(guān)注公眾號,了解最新動態(tài)